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        Kashiyama SDE系列真空泵
            發布時間: 2018-12-06 17:18    

        Kashiyama真空泵SDE系列


        1.可達到200kL/min.


        2.最適合大尺寸晶圓和FPD使用。


        3.經得起各種工藝的考驗。


        KASHIYAMA真空泵SDE系列規格


        規格書 /產品介紹

        SDE1220

        SDE20M20

        SDE30M20

        SDE4060

        SDE4030M20

        SDE8060

        SDE804060

        最大抽速[L/min]

        20,000

        30,000

        50,000

        60,000

        80,000

        120,000

        190,000

        極限壓力[Pa]

        0.5

        0.8

        0.5

        0.8

        0.5

        電源電壓(50/60Hz)

        3 Phase AC200~220V,380~480V

        尺寸[mm] 寬W*高H*長L

        W:400 

        H: 780 

        L:930

        W:450 

        H: 950  

        L:1000

        W:450

        H: 950 

         L:1000

        W:750

        H: 1200

        L: 1600

        W:800 

        H:  1580 

        L:1320

        W:850

        H: 1220

         L: 1600

        W:1000

        H:  1980 

        L:1850














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