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      Kashiyama SDE系列真空泵
      

          發布時間: 2018-12-06 17:18    
      

      

      


      




      
	
      
		
       
      
		
		
      
	
      
	  
      
	
      
	
      
		
      
		
      
        
			
                 
			  
      
              
      
					
        
						
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      Kashiyama真空泵SDE系列

      1.可達到200kL/min.

      2.最適合大尺寸晶圓和FPD使用。

      3.經得起各種工藝的考驗。

      KASHIYAMA真空泵SDE系列規格

      規格書 /產品介紹
      SDE1220
      SDE20M20
      SDE30M20
      SDE4060
      SDE4030M20
      SDE8060
      SDE804060
      最大抽速[L/min]
      20,000
      30,000
      50,000
      60,000
      80,000
      120,000
      190,000
      極限壓力[Pa]
      0.5
      0.8
      0.5
      0.8
      0.5
      電源電壓(50/60Hz)
      3 Phase AC200～220V，380～480V
      尺寸[mm] 寬W*高H*長L
      W:400 
      H: 780 
      L:930
      W:450 
      H: 950  
      L:1000
      W:450
      H: 950 
       L:1000
      W:750
      H: 1200
      L: 1600
      W:800 
      H:  1580 
      L:1320
      W:850
      H: 1220
       L: 1600
      W:1000
      H:  1980 
      L:1850












      	
      

          
      
	   
	
		
      
			
      
	
	
      

      
	
      
		


      
    
      
        
      
    	
    
       
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